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小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備管式爐

簡(jiǎn)要描述:廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的科冪TFC-1200-60-I-440微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備,該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進(jìn)行了一東列的改進(jìn),包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體現(xiàn)小、操作方便、智能化程度高等特點(diǎn)。小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備管式爐

  • 產(chǎn)品型號(hào):TFC-1200-60-I-440
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-08-27
  • 訪  問(wèn)  量:581

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詳細(xì)介紹
品牌科冪儀器升溫速度(達(dá)到最高溫)10℃/min/min
內(nèi)部尺寸Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可選)mm加熱方式K型熱電偶,集成式觸摸屏控制
最大功率3000kW控溫精度1℃
最高溫度1200℃價(jià)格區(qū)間面議
儀器種類管式爐產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域化工

廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的科冪TFC-1200-60-I-440微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備,該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進(jìn)行了一東列的改進(jìn),包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體現(xiàn)小、操作方便、智能化程度高等特點(diǎn)。小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備管式爐

 

 

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐特點(diǎn):

 

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C;

 

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,節(jié)約能源;

 

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長(zhǎng)爐子的使用壽命。

 

638255341642433536688.jpg

 

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐參數(shù):

型號(hào):

TFC-1200-60-I-440

爐管尺寸:

Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可選)

最高溫度:

1200℃(短期)

工作溫度:

1100℃

升溫速率:

≤10℃/min

加熱區(qū)長(zhǎng)度:

440mm

額定功率:

3kW

適配電源:

AC220V 50/60Hz

溫控系統(tǒng):

K型熱電偶,集成式觸摸屏控制

控溫精度:

±1℃

密封系統(tǒng):

爐管兩端配有快開式密封法蘭

外形尺寸:

620*420*580mm

氣體量程:

100~1000SCCM

氣路數(shù)量:

2~4路(MFC)

氣路工作溫度:

5~45℃

VRD-8:

最大承載量:1000Lbs;

抽氣速率:10m3/h;

極限真空度:10-1Pa

真空度:

雙極旋片機(jī)械泵:極限10^-1Pa ;

分子泵機(jī)組:極限10^-3Pa

 

 

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐TFC-1200-60-I-440信息由廣州金程科學(xué)儀器有限公司為您提供。小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備管式爐


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