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化學氣相沉積微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐

簡要描述:廣州金程科學儀器公司供應的科冪TFC-1200-60-I-440微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規(guī)產品上進行了一東列的改進,包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等?;瘜W氣相沉積微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐體現(xiàn)出體現(xiàn)小、操作方便、智能化程度高等特點。

  • 產品型號:TFC-1200-60-I-440
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-08-27
  • 訪  問  量:895

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詳細介紹
品牌科冪儀器升溫速度(達到最高溫)≤10℃/min/min
內部尺寸Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可選)mm加熱方式K型熱電偶,集成式觸摸屏控制
最大功率3000kW控溫精度±1℃℃
最高溫度1200℃價格區(qū)間面議
儀器種類管式爐產地類別國產
應用領域化工

廣州金程科學儀器公司供應的TFC-1200-60-I-440微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學氣相沉積薄膜類制備設備,該設備在常規(guī)產品上進行了一東列的改進,包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。化學氣相沉積微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐體現(xiàn)出體現(xiàn)小、操作方便、智能化程度高等特點。

 

 

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐特點:

 

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C;

 

高純狀氧化鋁纖維絕緣層,節(jié)約能源;

 

爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命。

 

化學氣相沉積微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐TFC-1200-60-I-440.jpg

 

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐參數:

型號:

TFC-1200-60-I-440

爐管尺寸:

Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可選)

最高溫度:

1200℃(短期)

工作溫度:

1100℃

升溫速率:

≤10℃/min

加熱區(qū)長度:

440mm

額定功率:

3kW

適配電源:

AC220V 50/60Hz

溫控系統(tǒng):

K型熱電偶,集成式觸摸屏控制

控溫精度:

±1℃

密封系統(tǒng):

爐管兩端配有快開式密封法蘭

外形尺寸:

620*420*580mm

氣體量程:

100~1000SCCM

氣路數量:

2~4路(MFC)

氣路工作溫度:

5~45℃

VRD-8:

最大承載量:1000Lbs;

抽氣速率:10m3/h;

極限真空度:10-1Pa

真空度:

雙極旋片機械泵:極限10^-1Pa ;

分子泵機組:極限10^-3Pa

 

 

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐TFC-1200-60-I-440信息由廣州金程科學儀器有限公司為您提供。化學氣相沉積微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐

 


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