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掃描電鏡等離子清洗機清洗碳氫化合物

簡要描述：廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的掃描電鏡(SEM)等離子清洗機CIF-SEM采用遠程等離子清洗源設(shè)計，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于SEM 或FIB等腔體內(nèi)碳氫化合物的清洗。與電鏡配套使用，掃描電鏡等離子清洗機清洗碳氫化合物。

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詳細介紹

品牌	CIF	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	能源,電子,航天,電氣,綜合

廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的掃描電鏡(SEM)等離子清洗機CIF-SEM采用遠程等離子清洗源設(shè)計，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于SEM 或FIB等腔體內(nèi)碳氫化合物的清洗。與電鏡配套使用，掃描電鏡等離子清洗機清洗碳氫化合物。

儀器特點：

遠程離子清洗源

清洗快速、高效

低轟擊損傷

掃描電鏡等離子清洗機CIF-SEM.jpg

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號	CIF-SEM
法蘭接口	KF40(CF40)
工作氣壓	0.3-3Pa
等離子電源	13.56MHz射頻電源，射頻功率5-150W可調(diào)
等離子電源	遠程等離子源，自動匹配器
氣體控制	標配單路質(zhì)量流量計(MFC)可選雙路。0-500sccm,自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇
真空保證	真空計和電磁閥安全互鎖
操控方式	7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面
電源/功率	AC220V,50/60Hz,300W
可選配件	可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器，氫氣純度>99.999%,輸出流量O-500SCCM
質(zhì)量保證	二年質(zhì)保，終身維護
產(chǎn)品尺寸	L320xW385xH465mm
包裝尺寸	L440xW535xH725mm
整機重量	25kg

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