0.1 hPa 高真空壓力下的氦氣流量

16 hPa·l/s

0.1 hPa 高真空壓力下的氬氣流量

16 hPa·l/s

0.1 hPa 高真空壓力下的氮氣流量

16 hPa·l/s

I/O 接口

RS-485, 遠(yuǎn)程

低振蕩

是

允許的最高徑向磁場

5 mT

冷卻方法，可選

空氣（強(qiáng)制對流）

冷卻水流量

80 l/h

冷卻水溫度

15-35 °C | 59-95 °F | 288-308 K

冷卻類型

水

啟動時間

4 min

聲壓水平

≤45 dB(A)

安裝方向

隨意

放氣接口

G 1/8"

整體泄漏率

< 1 · 10-8 Pa m3/s | < 7.5 · 10-8 Torr l/s | < 1 · 10-7 mbar l/s

最大耗電量

300 W

最終壓力

< 1 · 10-7 hPa | < 7.5 · 10-8 Torr | < 1 · 10-7 mbar

最終轉(zhuǎn)速下的氮氣流量

13 hPa·l/s

氫氣抽氣速度

480 l/s

氫氣的壓縮比

2 · 105

氦氣的抽氣速率

600 l/s

氬氣在最終轉(zhuǎn)速下的氣流量

8 hPa·l/s

氬氣抽氣速率

660 l/s

氬氣的壓縮比

> 1 · 1011

氮氣的壓縮比

> 1 · 1011

用于氮氣的抽氣速度

685 l/s

電子驅(qū)動單元

TM 700

電子驅(qū)動單元安裝類型

集成電子驅(qū)動單元

電流最大值

7.5 A

電源包的位置

外部電源包

轉(zhuǎn)速 ± 2 %

49,200 rpm | 49,200 min-1

轉(zhuǎn)速可變化

20 – 100 %

軸承

磁鐵

輸入電壓

48 V DC (±10 %)  

連接法蘭（入口）

DN 160 ISO-K

連接法蘭（出口）

DN 25 ISO-KF

適用于氮氣的前級真空最大值

8 hPa | 6 Torr | 8 mbar

重量

15.7 kg | 34.61 lb

防護(hù)等級

IP54