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雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機表面處理儀

簡要描述：廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510，均勻性高的電極構(gòu)造，操作簡單的觸摸屏控制器，適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機。雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機表面處理儀

  • 產(chǎn)品型號：PDC200/PDC210/PDC510
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 更新時間：2024-08-26
  • 訪  問  量：928
詳細(xì)介紹
品牌YAMATO/日本雅馬拓產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域能源,電子,電氣

廣州金程科學(xué)儀器公司供應(yīng)的雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510，均勻性高的電極構(gòu)造，操作簡單的觸摸屏控制器，適用于研究開發(fā)的小型等離子清洗機。雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機表面處理儀

儀器特點：

DP模式（PDC510標(biāo)配·PDC200/210選配）。

RIE模式。

均勻性高的電極構(gòu)造。

操作簡單的觸摸屏控制器。

型號

PDC200

PDC210

PDC510

等離子模式

RIE（DP模式選配）

電極構(gòu)造

平行平板（固定）

高頻輸出

Max300W

Max500W

頻率

13.56MHz

反應(yīng)腔尺寸

W400xD250Lx150mm

W500xD300Lx200mm

電極尺寸

W250xD170mm

W400xD200mm

反應(yīng)室材質(zhì)

2系統(tǒng)（Ar、O2）

填充氣體

N2或干燥空氣

反應(yīng)氣體流量控制

流量計

聚合控制器

真空泵

另行選配

油泵（約345L/分）標(biāo)配

油泵（500L/分）標(biāo)配

氣體導(dǎo)入口

反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個

外形尺寸

W540xD600xH600mm

W540xD600xH600mm

W700xD700xH1285mm

重量

約100KG

約105KG

約180KG

電源

單相AC100V 10A

三相AC200V 6A

三相AC200V 8A

雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510信息由廣州金程科學(xué)儀器有限公司為您提供。雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機表面處理儀




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